模拟型小量程气体质量流量控制器/流量计AC-S030C/AC-S030M主要应用在量程范围从10SCCM--30SLM之间气体流量的测量和控制，采用新型传感制作工艺，具有响应速度快、准确度高、流量控制稳定、压力范围宽、线性度好等优点，适用于绝大多数干燥、干净的气体（及少数腐蚀性气体）。
性能特点：
1、响应速度快 2、耐压程度高
3、抗干扰性强 4、宽压力范围
5、流量控制精准 6、数据传输距离远
技术参数：
气体质量流量控制器/流量计出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量单位：SCCM（标准毫升每分钟） SLM（标准升每分钟）
标准状况：温度--293.15K(20℃) 压力--101325Pa（760mmHg）
F.S（Full Scale）表示满量程
模拟型小量程气体质量流量控制器/流量计AC-S030C/AC-S030M应用行业：真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能源与环境保护设备、各种分析仪器设备、表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研院所实验室设备
