SSGM-2高精度动态配气仪
产品简介:
主要是配比空气和二氧化碳,气体总流量为:30升每分钟,浓度范围为:0-100%。SSGM系列的主要是用于以空气或氮气为稀释气体的多种气体的动态配比,装置经过防腐蚀性和防吸附性处理,除开常规惰性气体的浓度比例配比和调节以外,本装置也适用于腐蚀性和有毒气体的浓度动态配比。

产品特点:
1、气体混合配比不限气体种类和数量
2、动态配气装置稳定性极好,不受温度和压力的影响
3、采用智能控制系统,可通过软件进行配气浓度和气体选择
4、预留物联网模块接口,可拓展联网功能,提供USB接口,预留数据通讯信号,可与其他设备相连接

应用行业:
广泛应用于SPUTTER磁控溅射台、等离子刻蚀、石油化工、高校实验室、科研单位、航空航天、光伏行业、半导体行业、真空镀膜行业、光电产业到工业工具的表面镀膜、PVD、CVD、MOCVD、氧化、离子注入、精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、食品及制药产业、气相色谱仪等相关行业。





